Presné obrábanie sa vyvíja z hladiny mikrónu na hladinu nanometrov a obrábanie ultra presnosti dosiahlo 10 nanometrových rozmerov a 1 nanometrovú drsnosť povrchu. Kompozitné technológie, ako je polo fixované abrazívne obrábanie, v kombinácii s mechanickým brúsením a chemickým účinkom, dosahujú vysokú presnú rovinnosť v integrovanom spracovaní substrátu s obvodom. V budúcnosti sa bude zameriavať na vývoj technológií, ako je napríklad kompozitné obrábanie viacerých energetických polí a inteligentné systémy riadenia procesov, aby sa splnili presné požiadavky mikro-mechanickej výroby a optických komponentov.
